クリーンルームの定義と規格について

サイトへのお問い合わせの中でもっとも多いのがクリーンルームの定義や規格についてのものです。また、リンクスのアクセスでも「クリーンルームとは？」「クリーンルームの規格」が毎月１位、２位を続けています。最も関心の高いテーマと言えます。

クリーンルームの定義

クリーンルームの定義は１９９４年に制定され、２０００年に改訂された　ＪＩＳ　Ｚ　８１２２（コンタミネーションコントロール用語）に次のように規定されています。

クリーンルーム

コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間。

クリーンルームの規格

現在、日本で一般に使用されている清浄度クラス表示は必ずしも統一されていません。方式ごとに基準となる体積や粒子径が違うために、どの規格による表示なのかを注意する必要があります。代表的なものは、次の４つです。

JIS方式

ＪＩＳ　Ｂ　９９２０の清浄度クラスの表示で１ｍ3中の０．１μｍ以上の粒子数を１０のべき乗で表したときの指数で表します。

表示：クラス１〜８

FED-STD-209D（米国連邦規格、1988年）

単位は英国単位（FS単位）。０．５μｍ以上粒子を基準とし、立法フィート中の粒子数を表示します。実際にはいまだに一番良く使われていると思います。

表示：クラス１、１０、１００、１０００、１００００、１０００００

FED-STD-209E（米国連邦規格、1992年）

単位はメートル法（IS単位）を優先し、英国単位（FS単位）を併記します。清浄度クラスは０．５μｍ以上粒子を基準とし、粒子数を１０X乗個/ｍ3で表し、X値をクラスとします。メートル法使用を明確とするためMを付加しクラスM（X）とします。

表示：クラスＭ１〜Ｍ７

★清浄度の単位体積は１ｃｆ？　１立方メートル？★

ISO方式

日米欧を中心に初の世界統一規格として作成が進められています。
ＩＳＯ規格は「クリーンルームと付帯する制御環境」を規定した次の二つから成ります。
１）　ＩＳＯ　１４６４４−１　Ｐａｒｔ１「空気清浄度のクラス分け」
２）　ＩＳＯ　１４６４４−２　Ｐａｒｔ２ 「試験及びモニター手法」
ＩＳＯクラス表示では、基準粒子径は０．１μｍ、基準体積は１ｍ3で、ＪＩＳ方式が取り入れられています。ただしクラスは１〜９までです。

表示：ＩＳＯ　class１〜９

規格の使用について

統一規格ということで今後はＩＳＯ規格の使用が増えてくると考えられます。ただし社会的にはまだ、ＩＳＯ規格よりクラス１００のような呼び方が一般的であり、当面はＩＳＯ規格との併用は避けられないと思います。
ＣＳＣ−ＢＩＺ．ＣＯＭの中でも、あえて、ＦＥＤ-ＳＴＤ-２０９Ｄに基いた呼び方をしていますがこれからの検討課題だと思います。

ＩＳＯクラス分類表